该厂为89英寸晶圆生產线设备配套的超注射用水系統，每天晚上有含硅废液150吨。废液中虽无巨资属，但硅含氧量高易积灰，且功率电阻率需起到18MΩ·cm方能循环。和原有清理工学院艺不可能够满足新颁布实施的《光电工业品水被环境有害特性废气水质标准规范》（GB39731-2020）格外废气排放出标准值。 废污水组成成分特别 主要是水污渍 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（粒度0.1-1μm） 特别的规范 ：TOC<10μg/L，硼含碳量<5μg/L 生活饮用水性能特点 ：低导电率（<50μS/cm）但硅氧化物底部形态比较复杂 清理加工过程具体步骤 不断创新选用"梯级膜分离法+电去阳离子"組合鑫霖环保： 微滤预解决 ：1μm卫浴陶瓷膜阻拦大颗料硅，通量维护80LMH 铝离子调换环氧树脂 ：D201大孔树酯的抑制性活性炭吸附硅酸原子核 二级考试RO系统软件 ：第2段二手回产出率60%，第2段进行高脱硼膜元器件封装 EDI电去化合物 ：电压硬度2A/m²，连续清掉稳定度铝离子 紫外光杀菌的 ：254nmUV太阳极为线残留量40mJ/cm² 的技术薄弱环节 定制开发专用的阻硅剂（有机化学胺类复合型物），延长时间膜危害过渡期3倍 EDI电源模块不断创新流道构思，硅除掉率上升至99.8% 一直在线硅深入测试仪（在线测量使用范围0.1-500μg/L）建立会员精准营销把控好 自动运行实效 经第三个方测量： 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼成分从8μg/L减少为0.3μg/L 软件系统二手回成品率从原40%提高了至68% 膜拆换时期延长了至5年，年执行成本预算大幅度降低35%